报告题目:半浮栅晶体管—一种新型微电子基础器件
报 告 人:复旦大学博士生导师
教育部长江学者特聘教授 张 卫 教授
报告时间:2018年6月9日下午3:00
报告地点:东湖宾馆一楼大报告厅
报告人简介:张卫,教授、博士生导师,教育部长江特聘教授,复旦大学微电子学院副院长。主要从事集成电路工艺、半导体器件和半导体材料的研究。自1997年以来承担863、国家自然科学基金、国家重大专项、上海市重大重点项目等20多项,在集成电路先导工艺技术、半导体器件和半导体材料等方面开展了系统研究,并取得很多创新性成果,比如先进铜互连技术、新型阻变存储器和半浮栅器件等。自1992年以来在Science,Scientific Report, Applied Physics Letters,IEEE Electron Device Letters,IEEE Tran. on Electron Devices, Journal of Applied Physics等国际学术期刊和会议上发表论文200多篇,申请专利180多项,其中美国专利39项。